最近中科院研发成功紫外超分辨光刻机的消息刷屏了，使用365nm波长就能实现单次曝光最高线宽分辨力达到22nm，这个技术水平在光刻机中是很了不起的，做到了SP表面等离子体超衍射光刻机的极致，而且价格只有1000-2000万元，不过中科院的SP光刻机并不能取代ASML的光刻机，二者的用途并不一样，晶圆厂制造半导体芯片依然离不开ASML的光刻机。
今天台积电、三星等公司要心惊一下了，因为ASML光刻机交货遇到问题了，ASML元件供应商Prodrive突遭大火，导致部分生产线及库存被毁，将影响2019年初ASML光刻机的交付日期，不过今年内的ASML光刻机交付不受影响。
来自路透社的消息称，ASML周一宣布其供应商Prodrive上周六遭遇火灾，摧毁了Prodrive公司部分生产线及库存，ASML公司正在寻找其他供应来源，并帮助Prodrive尽快重启生产。ASML首席执行官兼总裁Peter Wennink在一份声明中表示：“我们希望Prodrive的管理层和员工在恢复生产过程中一切顺利，并尽可能地为他们提供支持。”
供应商遭遇火灾导致产能及库存受损，这对ASML的光刻机交付也会产生影响，ASML公司表示今年内的光刻机交付不会有任何变化，需要几周时间来评估这次危机对他们业务的整体影响。随后ASML更新的声明中强调虽然2018年的光刻机订单交付没问题，但是2019年初的ASML光刻机会延期交付，但延期多久上尚无消息。
根据ASML公司早前财报中的消息，Q3季度ASML出货了5台EUV光刻机（1台ASML的EUV光刻机售价在上亿美金），上个季度出货7台EUV光刻机，预计Q4季度出货6台EUV光刻机，全年出货的数量将达到18台，而2019年EUV光刻机预计出货数量达到30台。
ASML的EUV光刻机大客户除了三星、台积电及英特尔之外，国内的中芯国际SMIC今年也订购了一台EUV光刻机，预计会在明年初交付，不过中芯国际订购的EUV光刻机主要用于技术研发，短时间内并没有量产EUV工艺的需求，延期交付对中芯国际的影响并不大。
相比较而言，2019年初延期交付的EUV光刻机对台积电、三星的影响更大，不过这也取决于ASML受到Prodrive火灾的影响有多大，目前具体的灾害损失还没有结果。
本文来源：超能网
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